HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭

產品型號

  2英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-2

主要特點

  1、采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作。

  2、采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均勻分布。

  3、磁體表面涂有保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命。

  4、標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。

  5、安裝采用標準真空接頭，便于操作。

  6、靶材更換較為簡單，無需調整濺射頭的高度。

技術參數

  1、陽極護罩直徑：Φ3.5"

  2、所用靶材：直徑2"（50.8mm），非磁性靶zui大厚度1/4"，磁性靶zui大厚度1/16"      

  3、磁鐵：NdFeB稀土永磁體

  4、靶材利用率：30%

  5、所需功率：DCzui大1000W，RFzui大500W

  6、濺射電流：zui大3A

  7、濺射電壓：100V-1000V

  8、濺射時腔體真空度：5mtorr-100mtorr

  9、濺射均勻性曲線：

  10、水冷卻：水管外徑0.25"，流速0.8GPM，進水溫度<20℃                    

產品規格

可選配件

  1、循環水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。

  2、同時購買300W射頻發射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75"，可將濺射

 　  頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。