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精密液體氣相發(fā)生器

簡要描述:精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導(dǎo)入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠?qū)С龆喾N液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1518

詳細介紹

 

產(chǎn)品型號

 精密液體氣相發(fā)生器

主要特點

   1流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

   2采用30段程序化控溫。

   3氣體流速通過浮子流量計控制。

   4配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。

   5配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。

   6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。

   7、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

   1電源:單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率:1000W

   3、蠕動泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調(diào))

   4zui高工作溫度:300

   5控溫精度:±1

   6、浮子流量計:0-2000ml/min(可調(diào))

   7、出氣口:外徑1/4

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

可選配件

  加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)

 

  

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