高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

產(chǎn)品型號

  高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

主要特點(diǎn)

  1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60°。

  2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用　           壽命。

  3、設(shè)有三個(gè)溫區(qū)，可獨(dú)立控溫，可設(shè)置50段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。

  4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動(dòng)架內(nèi)，方便移動(dòng)。

  5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start” 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)，待真空度達(dá)到10^-2

        mbar后分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）。

  6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。

  7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：AC 208-240V單相   50/60Hz  7KW

  2、爐管：高純石英管，外徑Φ100mm×內(nèi)徑Φ92mm×1400mm

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

  4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm

  5、恒溫區(qū)：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí)）

  6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升溫速率：≤20℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、熱電偶：3根K型熱電偶

  高真空機(jī)組

  1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換  50/60Hz

  2、消耗功率：110W

  3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm

  4、zui大承重量：270kg

  5、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

  6、工作范圍：1000mbar-<10^-7mbar

  7、極限真空度：10^-5torr

  8、數(shù)字式真空顯示計(jì)：10^-8mbar-10³mbar

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、質(zhì)量流量計(jì)：9通道精密質(zhì)量流量計(jì)

  2、流量計(jì)范圍：10-1000sccm三個(gè)，20-200sccm三個(gè)，30-10sccm三個(gè)

  3、壓力表：3個(gè)，用來檢測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm，質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600

              mm×700mm

  重量：100kg

真空配件

1

  不銹鋼真空密封法蘭

2個(gè)

2

  精密針閥

2個(gè)

3

  1/4″軟管接頭

1個(gè)

4

  高溫硅膠O型密封圈（zui高可承受300℃）

6個(gè)

5

  氧化鋁管堵

1套

6

  KF-40真空波紋管

1根

7

  KF-40快速卡箍

3個(gè)

8

  KF-25卡箍

2個(gè)

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計(jì)