1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

產(chǎn)品型號(hào)

  1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

主要特點(diǎn)

  1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了*的溫度均勻性。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

  3、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。

  4、金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。

  5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）。

  6、冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

  7、配有帶KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

  8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。為了獲得較快的加熱速度，可以　

        先將爐體預(yù)熱，然后滑至放置樣品處；為了獲得較快的冷卻速度，可將爐體滑至另一端，同時(shí)將冷氣通入　

        樣品所在處。

  9、密封法蘭系統(tǒng)采用不銹鋼制作。

  10、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  2.5KW （20A保險(xiǎn)絲）

  2、石英管：外管外徑Φ100mm，內(nèi)徑Φ96mm，長(zhǎng)1400mm

                        內(nèi)管外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ75mm，長(zhǎng)1400mm

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

  4、加熱區(qū)域：440mm

   5、恒溫區(qū)域：120mm（±1℃在400-1100℃）

  6、工作溫度：zui高1100℃，連續(xù)工作1000℃

  7、zui大升降溫速率：20℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、質(zhì)子流量計(jì)：4路精密質(zhì)子流量計(jì)，數(shù)字顯示，氣體流量自動(dòng)控制

                                MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-200sccm，MFC1范圍0-500sccm

  2、流量精度：0.2%

  3、氣路：4路（每個(gè)氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制）

  4、進(jìn)出氣口：1/4″卡套

  5、混氣罐：1個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，移動(dòng)架600mm×600mm×597mm

  重量：135kg

可選配件

  1、分子泵

  2、雙溫區(qū)管式爐

  3、銅箔（生長(zhǎng)石墨烯150mm×150mm×25µm）